芯片CCD视觉在线检测设备

芯片CCD视觉在线检测设备

芯片CCD视觉在线检测是半导体制造中确保芯片外观质量、引脚完整性及表面缺陷的关键工艺环节。

核心检测项目与技术指标

系统性能验证

半导体行业应用案例

- QFN封装检测：  

  - 挑战：侧面引脚隐蔽缺陷。  

  - 方案：45°倾斜相机+激光三角测量。  

  - 结果：检出率从92%提升至99.7%。  

- 晶圆表面检测：  

  - 配置：明暗场双模式光学系统。  

  - 算法：基于YOLOv7的微划痕检测。

  - 速度：8英寸晶圆全检<30秒。  

该芯片CCD视觉在线检测系统的部署需满足Class 100洁净室要求，典型投资回收期约14个月（通过降低封测废品率2-3%实现）。